T/ZSA 231-2024-氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法-国家数字标准馆

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氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

发布日期： 2024-05-15

实施日期： 2024-05-16

范围:本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。
本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法;
主要技术内容:本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： H21冶金 - 金属理化性能试验方法 - 金属物理性能试验方法

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：中关村标准化协会

起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司

起草人：李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋

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