微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
发布日期：
2011-01-10
实施日期：
2011-10-01
【到馆阅览须知】
国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
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开放时间：每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：北京市海淀区知春路4号
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