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作废 ГОСТ 33518-2015
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Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение рабочих характеристик 真空技术 涡轮分子泵 性能特征测量
发布日期: 2015-09-29
实施日期: 2017-01-01
废止日期: 2023-12-01
这个标准定义了用于测量所述涡轮分子泵的性能的方法。它被用于所有尺寸的涡轮分子具有机械或磁性轴承泵;和具有或不具有另外的分子水平
Настоящий стандарт определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных насосов. Он применяется для всех типоразмеров турбомолекулярных насосов с механическими или магнитными подшипниками; и с или без дополнительной молекулярной ступени
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