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저진공 펌프 성능 시험 방법 低真空泵性能特性的测量
发布日期: 2003-12-29
该程序适用于低真空泵比高1 Pa=100N/m2=1mbar=0.75 Torr,在向大气释放气体的同时,吸入口压力可以达到10kPa以下。备注1Pa=100N/m2=1mbar=0.75 Torr
이 절차는 대기로 가스를 방출시키면서 흡기구 압력이 10 kPa 이하에 도달할 수 있는 저진공 펌프비고 1 Pa = 100 N/m2 = 1 mbar = 0.75 Torr용한다.비고 1 Pa = 100 N/m2 = 1 mbar = 0.75 Torr
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