KS D 0259-2012(2022)-硅片厚度、厚度变化和弯曲的测量方法-国家数字标准馆

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실리콘 웨이퍼의 두께,두께 변화 및 휨의 측정 방법 硅片厚度、厚度变化和弯曲的测量方法

发布日期： 2012-05-17

该标准规定了硅单晶晶片（以下简称晶片）的厚度、厚度变化及扭曲的测量方法。

이 표준은 실리콘 단결정 웨이퍼(이하, 웨이퍼라 한다.)의 두께, 두께 변화 및 휨의 측정 방법에 대하 여 규정한다.

分类信息

发布单位或类别：韩国-韩国标准

ICS分类： 77.120.99有色金属 - 其他有色金属及其合金

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