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GB/T 30656-2014
碳化硅单晶抛光片
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Polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2014-12-31
现行
SJ/T 11503-2015
碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
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Test methods for measuring surface roughness of polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：行业标准-电子
发布日期： 2015-04-30
现行
GB/T 31351-2014
碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
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Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2014-12-31
现行
GB/T 32278-2015
碳化硅单晶片平整度测试方法
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Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2015-12-10
现行
SJ/T 11502-2015
碳化硅单晶抛光片规范
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Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：行业标准-电子
发布日期： 2015-04-30
现行
GB/T 32188-2015
氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
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The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2015-12-10
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  • 《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。
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