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现行
GB/T 42676-2023
半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
现行
Collection of metallographs on defects in silicon carbide crystal materials
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-12-28
现行
Silicon carbide epitaxial wafers
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-04-25
现行
Test methods for determining the orientation of a semiconductive single crystal
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
未生效
GB/T 24578-2024
半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法
Test method for measuring surface metal contamination on semiconductor wafers —Total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-07-24