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GB/T 42676-2023
半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
现行
GB/T 43313-2023
碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法
Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-11-27
现行
GB/T 6616-2023
半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法
Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
现行
GB/T 1551-2021
硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法
Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon—In-line four-point probe and direct current two-point probe method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2021-05-21
现行
GB/T 41153-2021
碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2021-12-31
现行
GB/T 1558-2023
硅中代位碳含量的红外吸收测试方法
Test method for substitutional carbon content in silicon by infrared absorption
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-12-28
现行
GB/T 42263-2022
硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2022-12-30
现行
GB/T 39144-2020
氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2020-10-11