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SJ/T 11499-2015
碳化硅单晶电学性能的测试方法
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Test method for measuring electrical properties of monocrystalline silicon carbide
发布单位或类别：行业标准-电子
发布日期： 2015-04-30
现行
GB/T 30868-2014
碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
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Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2014-07-24
现行
GB/T 30866-2014
碳化硅单晶片直径测试方法
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Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2014-07-24
现行
GB/T 24574-2009
硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
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Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2009-10-30
现行
GB/T 30867-2014
碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
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Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2014-07-24
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