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被代替
GB/T 30656-2014
碳化硅单晶抛光片
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Polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2014-12-31
现行
T/IAWBS 005-2024
6~8英寸碳化硅单晶抛光片
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2024-01-12
CCS分类：H冶金
废止
DB5306/T 84-2022
“双随机、一公开”监管工作规范
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发布单位或类别：云南省地方标准
发布日期： 2022-09-30
现行
GB/T 30656-2023
碳化硅单晶抛光片
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Polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2023-03-17
现行
GB/T 41765-2022
碳化硅单晶位错密度的测试方法
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Test method for dislocation density of monocrystalline silicon carbide
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2022-10-12
现行
GB/T 31351-2014
碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
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Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2014-12-31
现行
GB/T 32278-2015
碳化硅单晶片平整度测试方法
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Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2015-12-10
现行
T/IAWBS 014-2021
碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2021-09-15
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