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起草人: 闫果果
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废止
T/IAWBS 005-2018
6 英寸碳化硅单晶抛光片
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2018-12-06
现行
GB/T 42902-2023
碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
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Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2023-08-06
现行
T/ZSA 72-2019
碳化硅单晶
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2019-12-31
现行
T/IAWBS 020-2024
碳化硅外延层深能级缺陷的测试 瞬态电容法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2024-02-27
现行
T/IAWBS 007-2018
4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2018-12-06
现行
GB/T 42905-2023
碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法
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Test method for thickness of silicon carbide epitaxial layer—Infrared reflectance method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2023-08-06
现行
T/IAWBS 001-2017
碳化硅单晶
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2017-12-20
CCS分类：J43磨料与磨具
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