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现行 KS C IEC TS 62622-2023
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나노기술 — 인공 격자의 설명, 측정 및 치수 품질 매개변수 纳米技术——人造光栅的描述、测量和尺寸质量参数
发布日期: 2023-08-25
该标准的重点是指定质量参数,这些参数与网格几何的公称位置的偏差表示,并为应用不同类别的测量和评估方法提供指导,用于校准和特性人工网格。该标准旨在促进制造企业、用户和校准实验室之间的沟通,这些制造商负责处理纳米技术中使用的人工网格的尺寸质量参数的特性。该标准支持纳米技术在不同应用领域的人工网格生产和使用中的质量保证。定义和描述的方法普遍适用于各种网格,但其中心位于1维(1D)和2维(2D)网格。
이 표준은 격자 형상의 공칭 위치와의 편차로 표현된 품질 파라미터 지정에 중점을 두고 있으며, 인공 격자의 교정 및 특성화에 사용되는 다양한 범주의 측정 및 평가 방법의 적용에 대한 지침을 제공한다. 이 표준은 나노 기술에 사용되는 인공 격자의 치수 품질 파라미터의 특성을 다루는 제조 업체, 사용자 및 교정 실험실 간의 의사 소통을 용이하게 하기 위한 것이다. 이 표준은 나노 기술의 다양한 응용 분야에서 인공 격자의 생산 및 사용에서 품질 보증을 지원한다. 정의 및 기술된 방법은 다양한 격자에 보편적으로 적용되지만, 중심은 1차원(1D)과 2차원(2D) 격자에 두고 있다.
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