이 표준은 격자 형상의 공칭 위치와의 편차로 표현된 품질 파라미터 지정에 중점을 두고 있으며, 인공 격자의 교정 및 특성화에 사용되는 다양한 범주의 측정 및 평가 방법의 적용에 대한 지침을 제공한다. 이 표준은 나노 기술에 사용되는 인공 격자의 치수 품질 파라미터의 특성을 다루는 제조 업체, 사용자 및 교정 실험실 간의 의사 소통을 용이하게 하기 위한 것이다. 이 표준은 나노 기술의 다양한 응용 분야에서 인공 격자의 생산 및 사용에서 품질 보증을 지원한다. 정의 및 기술된 방법은 다양한 격자에 보편적으로 적용되지만, 중심은 1차원(1D)과 2차원(2D) 격자에 두고 있다.