X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
发布日期:
2018-03-15
实施日期:
2019-02-01
本标准规定了通过 X 射线反射技术(XRR)来测量平面衬底上厚度介于约1nm~lμm之间的单层和多层薄膜的厚度、密度和界面宽度的方法