KS D ISO 16413-2021-用X射线反射计评估薄膜的厚度、密度和界面宽度.仪器要求、校准和定位、数据收集、数据分析和报告 -国家数字标准馆

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X-선 반사율(XRR) 측정법을 이용한 박막의 두께, 밀도, 계면 너비 평가 — 장치 요건, 정렬 및 위치결정, 데이터 수집, 데이터 분석, 보고 用X射线反射计评估薄膜的厚度、密度和界面宽度.仪器要求、校准和定位、数据收集、数据分析和报告

发布日期： 2021-07-16

该标准利用X射线反射率测量法（XRR），在平整的基板上，厚度从1nm到1μ规定评价m左右单层及多层薄膜厚度、密度、边界面宽度的方法。

이 표준은 X선 반사율 측정법(XRR)을 이용해서 평평한 기판 위에 두께가 1 nm 에서 1 μm 가량인 단층 및 다층 박막의 두께, 밀도, 경계면 폭을 평가하는 방법을 규정한다.

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发布单位或类别：韩国-韩国标准

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