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现行 EN ISO 25178-607:2019
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Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 607: Nominal characteristics of non-contact (confocal microscopy) instrumentss (ISO 25178-607:2018) 几何产品规格（GPS） - 表面纹理:面积 - 第607部分:非接触（共聚焦显微镜）仪器的标称特性
发布日期： 2019-04-10
实施日期： 2019-04-10
ISO 25178的本部分描述的共聚焦显微镜（CM），用于表面形貌的3D映射系统的计量特性
This document describes the influence quantities and instrument characteristics of confocal microscopy systems for areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography images, the methods described in this document can be applied to profiling measurements as well.
分类信息
发布单位或类别： 国际组织-欧洲标准化委员会
CCS分类： J04机械 - 机械综合 - 基础标准与通用方法
ICS分类： 17.040.20长度和角度测量 - 表面特征
关联关系
研制信息
归口单位： CEN/TC 290-
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ISO 25178-607-2019
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几何产品规格（GPS） - 表面纹理:面积 - 第607部分:非接触（共聚焦显微镜）仪器的标称特性
2019-03-05
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2015-06-08
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2010-07-01
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产品几何技术规范（GPS）.表面结构:面积.第607部分:非接触（共焦显微镜）仪器的标称特性（ISO 25178-607-2019）；德文版EN ISO 25178-607:2019
2019-12-01
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BS 09/30196967 DC
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2009-08-28
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DIN EN ISO 25178-603
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments (ISO 25178-603:2013)
产品几何技术规范（GPS）.表面结构:面积.第603部分:非接触（相移干涉显微镜）仪器的标称特性（ISO 25178-603-2013）；德文版EN ISO 25178-603:2013
2014-02-01
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