ISO/TR 14999-3:2005-光学与光子学——光学元件和光学系统的干涉测量SPART 3:干涉测量测试设备和测量的校准和验证 -国家标准馆·国家数字标准馆

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Optics and photonics — Interferometric measurement of optical elements and optical systems — Part 3: Calibration and validation of interferometric test equipment and measurements 光学与光子学——光学元件和光学系统的干涉测量SPART 3:干涉测量测试设备和测量的校准和验证

发布日期： 2005-03-16

                ISO/TR 14999-3:2005讨论了误差来源以及将误差分为对称和非对称部分。它还描述了测量对物理参考表面质量的依赖，以及能够实现绝对校准的测试程序的开发。

ISO/TR 14999-3:2005 discusses sources of error and the separation of errors into symmetric and non-symmetric parts. It also describes the reliance of measurements on the quality of a physical reference surface and the development of test procedures capable of achieving absolute calibration.

分类信息

发布单位或类别：国际组织-国际标准化组织

ICS分类： 37.020成像技术 - 光学设备

关联关系

研制信息

归口单位： ISO/TC 172/SC 1

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