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现行 IEC 60204-33:2009
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Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment 机械安全 - 机器电气设备 - 第33部分:半导体制造设备的要求
发布日期: 2009-12-10
IEC 60204-33:2009适用于与半导体制造设备相关的用于半导体制造、测量、组装和测试的电气和电子设备。适用于交流(交流)标称电源电压不超过1000 V,直流(直流)标称电源电压不超过1500 V,且标称电源频率不超过200 Hz的电气设备或电气设备部件。对于更高的电压或频率,IEC 60204的特殊要求适用于与半导体制造设备相关的用于半导体制造、测量、组装和测试的电气和电子设备。
IEC 60204-33:2009 applies to electrical and electronic equipment associated with semiconductor fabrication equipment for the manufacture, measurement, assembly, and test of semiconductors. It is applicable to the electrical equipment or parts of the electrical equipment that operate with nominal supply voltages not exceeding 1 000 V for alternating current (a.c.) and not exceeding 1 500 V for direct current (d.c.), and with nominal supply frequencies not exceeding 200 Hz. For higher voltages or frequencies, special requirements IEC 60204 applies to electrical and electronic equipment associated with semiconductor fabrication equipment for the manufacture, measurement, assembly, and test of semiconductors.
分类信息
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研制信息
归口单位: TC 44
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