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  • 发布时间
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2024-04-12
ICS分类:
现行
GB/T 42895-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
Micro-electromechanical systems(MEMS)technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
CCS分类:L59微型组件
现行
T/CAMETA 10012-2021
工业互联网标识解析体系:MES与企业节点对接通用要求
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-01-01
CCS分类:
现行
GB/T 42896-2023
微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
CCS分类:L59微型组件
现行
GB/T 44531-2024
微机电系统(MEMS)技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范
Micro-electromechanical systems(MEMS)technology—Technical specification of automotive grade pressure sensor based on MEMS technology
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-09-29
CCS分类:L59微型组件
现行
T/SICA 006-2024
集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2024-06-07
CCS分类:CCS
现行
T/CAMETA 10016-2021
工业互联网标识解析体系:MES与企业节点对接安全要求
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-01-01
CCS分类:
现行
T/CAMETA 10013-2021
工业互联网标识解析体系:MES与企业节点对接数据要求
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-01-01
CCS分类:
现行
T/CAMETA 10015-2021
工业互联网标识解析体系:MES与企业节点对接服务要求
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-01-01
CCS分类:
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2023-11-13
CCS分类:CCS
ICS分类: