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现行
Specification for order entry format of silicon wafers
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2015-12-10
被代替
GB/T 6616-2009
半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2009-10-30