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  • 标准号
  • 发布时间
现行
T/ZGM 007-2024
半导体行业超纯水工艺抛光混床用离子交换树脂产品认证技术要求
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2024-05-24
CCS分类:J77分离机械
现行
T/ZGM 005-2024
半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2024-05-24
CCS分类:J77分离机械
现行
T/ZGM 003-2022
质量分级及“领跑者”评价要求 半导体行业终端过滤用膜元件
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-09-07
CCS分类:J77分离机械
ICS分类:
现行
T/ZGM 014-2023
半导体行业超纯水制备用脱气膜组件产品认证技术要求
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2023-10-11
CCS分类:J77分离机械