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起草人: 王桃霞
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被代替
GB/T 35306-2017
硅单晶中碳、氧含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法
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Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2017-12-29
现行
YB/T 6158-2023
金属铬 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
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发布单位或类别：行业标准-黑色冶金
发布日期： 2023-12-20
ICS分类：77.100铁合金
现行
YS/T 1059-2015
硅外延用三氯氢硅中总碳的测定　气相色谱法
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Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
发布单位或类别：行业标准-有色金属
发布日期： 2015-04-30
现行
T/CNIA 0143-2022
半导体材料痕量杂质分析用超纯树脂器皿
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-02-28
CCS分类：
现行
GB/T 4060-2018
硅多晶真空区熔基硼检验方法
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Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2018-09-17
现行
GB/T 18916.47-2020
取水定额 第47部分：多晶硅生产
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Norm of water intake—Part 47: Polysilicon production
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2020-03-31
现行
GB/T 40566-2021
流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
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Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2021-10-11
现行
T/CNIA 0014-2019
多晶硅生产用瓷环
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2019-02-13
现行
GB/T 37385-2019
硅中氯离子含量的测定 离子色谱法
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Test method for chloride content of silicon—Ion chromatography method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2019-03-25
现行
GB/T 35309-2017
用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
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Practice for evaluation of granular polysilicon by melter-zoner and spectroscopies
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2017-12-29
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