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  • 发布时间
废止
发布单位或类别:陕西省地方标准
发布日期: 2015-01-04
现行
T/CAQI 298-2022
生态校园 室内空气质量评价要求
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-12-06
CCS分类:
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2023-11-20
CCS分类:
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2023-08-25
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-12-06
CCS分类:
未生效
GB/T 44517-2024
微机电系统(MEMS)技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-09-29
CCS分类:L59微型组件
未生效
GB/T 44849-2024
微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-10-26
CCS分类:L59微型组件