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起草人: 赵培芝
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现行
T/ICMTIA SM0028-2022
集成电路用电子级多晶硅
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-05-10
CCS分类：
ICS分类：
01.020术语学(原则和协调配合)
现行
T/ICMTIA CM0035-2023
半导体硅材料制程装置用密封垫片
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2023-03-10
CCS分类：
ICS分类：
21.140密封件、密封装置
现行
GB/T 24581-2022
硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
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Test method for Ⅲ and Ⅴ impurities content in single crystal silicon—Low temperature FT-IR analysis method
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2022-03-09
CCS分类：
H17半金属及半导体材料分析方法
ICS分类：
77.040金属材料试验
现行
GB/T 24582-2023
多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法
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Test method for measuring surface metal impurity content of polycrystalline silicon—Acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry method
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2023-08-06
CCS分类：
H17半金属及半导体材料分析方法
ICS分类：
77.040金属材料试验
现行
GB/T 1553-2023
硅和锗体内少数载流子寿命的测定 光电导衰减法
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Test methods for minority carrier lifetime in bulk silicon and germanium—Photoconductivity decay method
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2023-08-06
CCS分类：
H21金属物理性能试验方法
ICS分类：
77.040金属材料试验
现行
GB/T 12963-2022
电子级多晶硅
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Electronic-grade polycrystalline silicon
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2022-12-30
CCS分类：
H82元素半导体材料
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
GB/T 43892-2024
石英玻璃光谱透射比试验方法
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Test method for spectral transmittance of quartz glass
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2024-04-25
CCS分类：
Q30陶瓷、玻璃综合
ICS分类：
81.040.01玻璃综合
现行
T/ICMTIA BS0029-2022
集成电路材料产品成熟度等级划分及定义
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-07-04
CCS分类：
ICS分类：
01.020术语学(原则和协调配合)
现行
T/ICMTIA BS0030-2022
集成电路材料产品分类
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-07-04
CCS分类：
ICS分类：
01.020术语学(原则和协调配合)
现行
T/CNIA 0141-2022
多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-02-28
CCS分类：
ICS分类：
77.040.01金属材料试验综合
【到馆阅览须知】
国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
1. 本馆向在国家数字标准馆网络平台上完成实名注册和预约的读者开放。
2. 请勿在非开放范围随意走动和从事与国家标准馆所提供服务无关的活动。
3. 请勿携带食品、有色和含糖饮料进入阅览区域。
4. 禁止在馆区内吸烟和使用明火，禁止携带易燃、易爆、有毒等危险品。
5. 请注意仪表着装，衣冠整洁得体，言谈举止文明。
6. 请遵守公共秩序和国家标准馆相关管理规定，服从工作人员管理，自觉维护参观秩序和良好的阅读环境。
开放时间：
每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：
北京市海淀区知春路4号
乘车线路：
乘坐地铁10号线、昌平线，在西土城站下车D口出后西行150米即可到达。
服务咨询：
赵老师 电话：010-58811369 邮箱：zhaoping@cnis.ac.cn
刘老师 电话：010-58811368 邮箱：liuyzh@cnis.ac.cn
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