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现行
GB/T 29057-2023
用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2023-04-20
CCS分类:
现行
T/CNIA 0061-2020
硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2020-05-27
现行
GB/T 24582-2023
多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法
Test method for measuring surface metal impurity content of polycrystalline silicon—Acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06