硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法
Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
发布日期：
2009-10-30
实施日期：
2010-06-01
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开放时间：每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：北京市海淀区知春路4号
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