클린룸 및 제어된 환경 — 제6부: 용어
洁净室和相关控制环境 - 第6部分:词汇
该标准描述了与洁净室及受控环境相关的术语和定义。该标准概括了KS I ISO 14644其他部分的术语和定义。其中包括KS I ISO 14698-1和KS I ISO 14698-2中的术语和定义。
이 표준은 클린룸 및 제어된 환경에 관련되는 용어와 정의를 설명한다. 이 표준은 KS I ISO 14644의 다른 부에 나오는 용어와 정의를 요약한다. 여기에는 KS I ISO 14698-1 및 KS I ISO 14698-2에 나오는 용어와 정의도 포함한다.
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