IEC 62374:2007-半导体器件 - 栅极介质膜的时间依赖介质击穿（tddb）测试-国家数字标准馆

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Semiconductor devices - Time dependent dielectric breakdown (TDDB) test for gate dielectric films 半导体器件 - 栅极介质膜的时间依赖介质击穿（tddb）测试

发布日期： 2007-03-29

提供了一种随时间变化的介质击穿测试方法
半导体器件上栅介质膜的TDDB和TDDB失效的产品寿命估计方法

Provides a test method of Time Dependent Dielectric Breakdown
(TDDB) for gate dielectric films on semiconductor devices and a product lifetime estimation method of TDDB failure

分类信息

发布单位或类别：国际组织-国际电工委员会

ICS分类： 31.080电子学 - 半导体分立器件

关联关系

研制信息

归口单位： TC 47

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