Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy — Description of selected instrumental performance parameters
表面化学分析 - 俄歇电子能谱 - 所选仪器性能参数的描述
ISO 15471:2016规定了俄歇电子光谱仪性能特定方面的描述要求。
ISO 15471:2016 specifies the requirements for the description of specific aspects of the performance of an Auger electron spectrometer.
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