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现行
Package of silicon wafers
发布单位或类别:行业标准-有色金属
发布日期: 2015-04-30
现行
YS/T 15-2015
硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
发布单位或类别:行业标准-有色金属
发布日期: 2015-04-30
现行
YS/T 14-2015
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
发布单位或类别:行业标准-有色金属
发布日期: 2015-04-30
现行
GB/T 24578-2015
硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2015-12-10
现行
Monocrystalline silicon
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2015-12-10
现行
Specification for order entry format of silicon wafers
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2015-12-10