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被代替
GB/T 6624-1995
硅抛光片表面质量目测检验方法
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Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 1995-04-18
ICS分类：71.100化工产品
被代替
GB/T 6621-1995
硅抛光片表面平整度测试方法
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Test methods for surface flatness of silicon polished slices
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 1995-04-18
被代替
GB/T 14139-1993
硅外延片
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Silicon epitaxial wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 1993-02-06
CCS分类：H81半金属
被代替
GB/T 14847-1993
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
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Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 1993-12-24
现行
GB/T 6621-2009
硅片表面平整度测试方法
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Testing methods for surface flatness of silicon slices
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2009-10-30
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  • 《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。
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