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标准号
发布时间
现行
T/IAWBS 010-2019
碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-12-27
CCS分类：
H20/29金属理化性能试验方法
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/ZSA 38-2020
SiC晶片的残余应力检测方法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2020-12-17
CCS分类：
H80/84半金属与半导体材料
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/IAWBS 021-2024
碳化硅晶片边缘轮廓检验方法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2024-05-17
CCS分类：
H80/84半金属与半导体材料
ICS分类：
29.020电气工程综合
现行
T/ZSA 231-2024
氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
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团体标准
发布日期：
2024-05-15
CCS分类：
H21金属物理性能试验方法
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/ZSA 224-2024
半导体设备前端模块
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2024-04-12
CCS分类：
L电子元器件与信息技术
ICS分类：
废止
T/IAWBS 005-2018
6 英寸碳化硅单晶抛光片
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团体标准
发布日期：
2018-12-06
CCS分类：
H83化合物半导体材料
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/IAWBS 011-2019
导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-12-27
CCS分类：
H20/29金属理化性能试验方法
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/IAWBS 009-2019
功率半导体器件稳态湿热高压偏置试验
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-12-27
CCS分类：
L40/49半导体分立器件
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/IAWBS 006-2018
碳化硅混合模块测试方法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2018-12-06
CCS分类：
L40/49半导体分立器件
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/ZSA 72-2019
碳化硅单晶
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团体标准
发布日期：
2019-12-31
CCS分类：
H80/84半金属与半导体材料
ICS分类：
29.045半导体材料
【到馆阅览须知】
国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
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开放时间：
每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：
北京市海淀区知春路4号
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乘坐地铁10号线、昌平线，在西土城站下车D口出后西行150米即可到达。
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赵老师 电话：010-58811369 邮箱：zhaoping@cnis.ac.cn
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