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现行
GB/T 41072-2021
表面化学分析 电子能谱 紫外光电子能谱分析指南
Surface chemical analysis—Electron spectroscopies—Guidelines for ultraviolet photoelectron spectroscopy analysis
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2021-12-31
现行
GB/T 32998-2016
表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求
Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy—Reporting of methods used for charge control and charge correction
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2016-10-13
现行
GB/T 29556-2013
表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - determination of lateral resolution, analysis area, and sample area viewed by the analyser
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2013-07-19
现行
GB/T 40110-2021
表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2021-05-21
现行
General rules for X-ray photoelectron spectroscopic analysis method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2004-04-30
现行
GB/Z 32490-2016
表面化学分析 X射线光电子能谱 确定本底的程序
Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Procedures for determining backgrounds
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2016-02-24
现行
GB/T 34174-2017
表面化学分析 工作参考物质中离子注入产生的驻留面剂量定值的推荐程序
Surface chemical analysis—Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2017-09-07
现行
GB/T 36053-2018
X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2018-03-15
现行
GB/T 43663-2024
表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性
Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Repeatability and constancy of the relative-intensity scale in static secondary-ion mass spectrometry
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-03-15
现行
GB/T 28633-2012
表面化学分析 X射线光电子能谱 强度标的重复性和一致性
Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectroscopy - Repeatability and constancy of intensity scale
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2012-07-31