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Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications (ISO 14644-13:2017) 洁净室和相关受控环境.第13部分:清洁表面以达到颗粒和化学分类规定的清洁度(ISO 14644-13-2017)
发布日期: 2017-11-01
分类信息
发布单位或类别: 德国-德国标准化学会
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