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现行 KS I ISO 14644-13-2019
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클린룸 및 제어된 환경 — 제13부: 입자 및 화학물질 등급 분류에 따른 청정도 달성을 위한 표면 세정 洁净室和相关控制环境第13部分:根据颗粒和化学分类达到规定清洁度的表面清洁
发布日期: 2019-06-13
该标准为洁净室表面及洁净室内的设备和材料表面进行指定等级的清洗提供了指导方针。
이 표준은 클린룸 표면 및 클린룸 내의 장비와 자재 표면을 지정된 등급으로 세정하기 위한 가이드라인을 제공한다.
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