本标准规定了目前根据粒子浓度对清洁室内和清洁区域进行监测的最低要求，这表明或影响粒子浓度。本标准不要求对振动或一般工程系统维护等因素进行日常控制。它不适用于目前对尺寸小于0.1微米至5.0微米的粒子浓度的控制。（尺寸小于0.1微米的）超细颗粒的浓度将在另一个国家进行审查。

Настоящий стандарт устанавливает минимальные требования к текущему контролю чистых помещений и чистых зон в отношении чистоты воздуха по концентрации частиц, основываясь на параметрах, которые показывают или влияют на концентрацию частиц. Настоящий стандарт не устанавливает требования к текущему контролю таких факторов, как вибрация или общее техническое обслуживание инженерных систем. Он не распространяется на текущий контроль концентрации частиц с размерами, меньшими пороговых размеров от 0,1 до 5,0 мкм. Концентрации ультрамелких частиц (с размерами менее 0,1 мкм) будут рассмотрены в другом стан