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클린룸 및 제어된 환경 — 제8부: 화학물질 농도에 따른 공기 청정도 등급 분류 洁净室和相关控制环境 - 第8部分:通过化学浓度(Acc)对空气清洁度的分类
发布日期: 2019-03-13
该标准规定,作为特定化学物质(个别、组或范畴)的空气中浓度,根据洁净室及相关控制环境的化学物质,对空气洁净度(ACC)的等级进行分类,并在等级分类的规格范围内提供包括试验方法、分析及时间加权因子的规约。该标准目前只考虑洁净室开车状态下100克/m3至10至12克/m3范围的空气中化学物质污染浓度。该标准不适用于即使存在空气中分子物质,也不被认为对产品或工艺有危险的产业、工艺或生产领域。这个标准不是为了说明空气中化学物质的性质而制定的。该标准不提供根据化学物质浓度的表面污染等级分类。
이 표준은 특정 화학물질(개별, 그룹 또는 범주)의 공기 중 농도로서 클린룸 및 관련 제어 환경의 화학물질에 따른 공기 청정도(ACC)의 등급을 분류하고, 등급 분류의 규격범위 내에서 시험방법, 분석 및 시간 가중 인자를 포함하는 규약을 제공한다.이 표준은 현재 클린룸의 운전 상태에서 100 g/m3에서 10-12 g/m3 범위의 공기 중 화학물질 오염 농도만 고려한다.이 표준은 공기 중 분자물질이 존재해도 제품이나 공정에 위험하다고 여겨지지 않는 산업, 공정 또는 생산 분야에는 적용하지 않는다.이 표준은 공기 중 화학물질의 성질에 대해 설명하려고 만든 것은 아니다.이 표준은 화학물질의 농도에 따른 표면 오염의 등급 분류를 제공하지 않는다.
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