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标准号
发布时间
现行
GB 29447-2022
多晶硅和锗单位产品能源消耗限额
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The norm of energy consumption per unit products of polysilicon and germanium
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2022-12-29
CCS分类：
F01技术管理
ICS分类：
27.010能源和热传导工程综合
现行
GB/T 18916.47-2020
取水定额 第47部分：多晶硅生产
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Norm of water intake—Part 47: Polysilicon production
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2020-03-31
CCS分类：
P41室外给水、排水工程
ICS分类：
13.060.25工业用水
现行
GB/T 24582-2023
多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法
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Test method for measuring surface metal impurity content of polycrystalline silicon—Acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry method
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2023-08-06
CCS分类：
H17半金属及半导体材料分析方法
ICS分类：
77.040金属材料试验
现行
T/CNIA 0016-2019
多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定 气相色谱法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-02-13
CCS分类：
G10/14无机化工原料
ICS分类：
77.040.01金属材料试验综合
现行
GB/T 29057-2023
用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
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Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2023-08-06
CCS分类：
H80半金属与半导体材料综合
ICS分类：
77.040金属材料试验
现行
GB/T 30652-2023
硅外延用三氯氢硅
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Trichlorosilane for silicon epitaxial
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2023-08-06
CCS分类：
H83化合物半导体材料
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/CNIA 0021-2019
绿色设计产品评价技术规范 多晶硅
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-02-13
CCS分类：
K30/39低压电器
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/CNIA 0175-2022
多晶硅生产固定污染源含氢排气中气态污染物采样方法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-12-21
CCS分类：
ICS分类：
77.040.01金属材料试验综合
现行
T/CNIA 0144-2022
半导体洁净环境用丁腈手套
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-02-28
CCS分类：
ICS分类：
83.140.01橡胶和塑料制品综合
现行
T/CNIA 0017-2019
多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-02-13
CCS分类：
H17半金属及半导体材料分析方法
ICS分类：
77.040.01金属材料试验综合
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国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
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每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：
北京市海淀区知春路4号
乘车线路：
乘坐地铁10号线、昌平线，在西土城站下车D口出后西行150米即可到达。
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