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现行
GB/T 1553-2023
硅和锗体内少数载流子寿命的测定 光电导衰减法
Test methods for minority carrier lifetime in bulk silicon and germanium—Photoconductivity decay method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
现行
Annealed monocrystalline silicon wafers
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2022-03-09
现行
GB/T 40279-2021
硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
Test method for thickness of films on silicon wafer surface—Optical reflection method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2021-08-20
现行
GB/T 41325-2022
集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片
Low density crystal originated pit polished monocrystalline silicon wafers for integrated circuit
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2022-03-09
现行
Terminology of semiconductor materials
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-04-25
现行
GB/T 43894.1-2024
半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分:高度径向二阶导数法(ZDD)
Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric(ZDD)
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-04-25
未生效
GB/T 24578-2024
半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法
Test method for measuring surface metal contamination on semiconductor wafers —Total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-07-24