首页 馆藏资源 舆情信息 标准服务 科研活动 关于我们
现行 KS I ISO 14644-14-2018
到馆阅读
收藏跟踪
购买正版
클린룸 및 제어된 환경 — 제14부: 공기 부유 입자 농도에 따른 장비 적합성 평가 洁净室和相关控制环境 - 第14部分:通过机载颗粒浓度评估设备使用的适用性
发布日期: 2018-05-08
该标准规定了从KS I ISO 14644-1规定的空气悬浮颗粒洁净度角度,评价洁净室及受控环境中使用的设备(机械类、测量设备、工艺设备、组成部件及工具)适用性的方法。
이 표준은 KS I ISO 14644-1에 규정된 공기 부유 입자 청정도 측면에서, 클린룸 및 제어된 환경에서 사용하기 위한 장비(기계류, 측정 장비, 공정 장비, 구성 부품 및 공구)의 적합성을 평가하는 방법을 규정한다.
分类信息
关联关系
研制信息
相似标准/计划/法规
现行
KS I ISO 14644-6
클린룸 및 제어된 환경 — 제6부: 용어
洁净室和相关控制环境 - 第6部分:词汇
2017-12-26
现行
KS I ISO 14644-5
클린룸 및 제어된 환경 — 제5부: 운영
洁净室和相关控制环境 - 第5部分:操作
2020-12-30
现行
KS I ISO 14644-6(2022 Confirm)
클린룸 및 제어된 환경 — 제6부: 용어
洁净室和相关受控环境.第6部分:词汇
2017-12-26
现行
ISO 14644-5-2004
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 5: Operations
洁净室和相关的受控环境第5部分:操作
2004-08-13
现行
GB/T 25915.6-2010
洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary
2011-01-14
现行
GB/T 25915.5-2010
洁净室及相关受控环境 第5部分:运行
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations
2011-01-14
现行
GOST R ISO 14644-5-2005
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация
洁净室和相关的受控环境 第五部分
现行
GOST R ISO 14644-6-2010
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 6. Термины
洁净室和相关的受控环境 词汇
现行
KS I ISO 14644-14(2023 Confirm)
클린룸 및 제어된 환경 — 제14부: 공기 부유 입자 농도에 따른 장비 적합성 평가
洁净室和相关受控环境第14部分:通过空气中颗粒浓度对设备适用性的评估
2018-05-08
现行
ISO 14644-14-2016
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
洁净室和相关受控环境 - 第14部分:空气中颗粒浓度对设备使用适用性的评估
2016-09-14
现行
GB/T 25915.14-2022
洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
2022-12-30
现行
KS I ISO 14644-3(2016 Confirm)
클린룸 및 관련된 제어 환경-제3부:시험 방법
洁净室及相关受控环境第3部分:试验方法
2006-11-28
现行
KS I ISO 14644-3
클린룸 및 제어된 환경 —제3부: 시험 방법
洁净室和相关受控环境.第3部分:试验方法
2021-12-27
现行
ISO 14644-3-2019
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
洁净室和相关的受控环境 - 第3部分:测试方法
2019-08-30
现行
AS ISO 14644.3-2021
Cleanrooms and associated controlled environments, Part 3: Test methods
洁净室和相关受控环境第3部分:试验方法
2021-05-21
现行
JIS B 9917-3-2009
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 3: Test methods
洁净室及相关受控环境第3部分:试验方法
2009-01-01
现行
GB/T 25915.3-2024
洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 3: Test methods
2024-03-15
现行
GOST R ISO 14644-3-2020
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний
洁净室和相关的受控环境 测试方法
现行
KS I ISO 14644-16
클린룸 및 제어된 환경 — 제16부: 클린룸 및 격리 장치에서의 에너지 효율
洁净室和相关受控环境.第16部分:洁净室和分离装置的能源效率
2021-10-27
现行
ISO 14644-16-2019
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices
洁净室和相关的受控环境.第16部分:洁净室和分离装置的能源效率
2019-05-24