该标准规定了可用于评价和定义术语和定义、符号、RF MEMS交换机特性参数和必要评价项目的测量方法。此外，该标准化的规定还可以适用于RF MEMS开关，包括多种结构和接触方式[直接接触（d.c.contact）]和电容接触（电容接触）方式、电路组成[串联（series）和接地（分流器）]、交换网络（SPST、SPDT、DPDT等）、静电力和热电力、电磁力、压电等驱动机制。RFMEMS开关是多带/模式驱动的新一代移动终端和智能雷达系统、可变无线电频率用部件及系统、软件定义的无线【软件定义无线电（SDR）】移动终端、测量仪表设备、可变元件及系统、卫星等多种设备和系统的适用核心部件。

이 표준은 용어와 정의, 기호, RF MEMS 스위치의 특성 파라미터와 필수 평가 항목들을 평가 및 정의하기 위해 사용할 수 있는 측정 방법에 대하여 규정한다. 또한, 이 표준화된 규정은 다양한 구조와접촉 방식[직접 접촉(d.c. contact)]과 정전 용량 접촉(capacitive contact) 방식, 회로 구성[직렬(series)와 접지(shunt)], 스위칭 네트워크(SPST, SPDT, DPDT 등), 정전력과 열전력, 전자기력, 압전력 등과같은 구동 메커니즘을 RF MEMS 스위치에 대하여 적용할 수 있다. RF MEMS 스위치는 다중 대역/모드 구동의 차세대 휴대 단말기와 스마트 레이더 시스템, 가변 무선 주파수용 부품 및 시스템, 소프트웨어에 정의된 무선[software defined radio(SDR)] 휴대 단말기, 측정 계측 장비, 가변 소자 및 시스템,위성 등의 다양한 장비와 시스템에 적용 가능한 핵심부품이다.