GB/T 26065-2010-硅单晶抛光试验片规范-国家数字标准馆

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硅单晶抛光试验片规范 Specification for polished test silicon wafers

发布日期： 2011-01-10

实施日期： 2011-10-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： H80冶金 - 半金属与半导体材料 - 半金属与半导体材料综合

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：宁波立立电子股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司

起草人：宫龙飞、何良恩、许峰、黄笑容

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