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标准号
发布时间
现行
T/CASAS 026-2023
碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2023-06-19
CCS分类：
ICS分类：
现行
T/IAWBS 002-2017
碳化硅外延片表面缺陷测试方法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2017-12-20
CCS分类：
H20/29金属理化性能试验方法
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/IAWBS 007-2018
4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2018-12-06
CCS分类：
H82元素半导体材料
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/CASAS 032-2023
碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2023-06-19
CCS分类：
ICS分类：
现行
T/IAWBS 003-2017
碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2017-12-20
CCS分类：
H80半金属与半导体材料综合
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/IAWBS 010-2019
碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-12-27
CCS分类：
H20/29金属理化性能试验方法
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/ZSA 72-2019
碳化硅单晶
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-12-31
CCS分类：
H80/84半金属与半导体材料
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/IAWBS 001-2017
碳化硅单晶
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2017-12-20
CCS分类：
J43磨料与磨具
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
DL/T 2310-2021
电力系统高压功率器件用碳化硅外延片使用条件
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Acceptance specification for silicon carbide epitaxial wafer of high voltage power devices in the grid system
发布单位或类别：
行业标准-电力
发布日期：
2021-04-26
CCS分类：
H83化合物半导体材料
ICS分类：
29.045半导体材料
废止
T/IAWBS 005-2018
6 英寸碳化硅单晶抛光片
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2018-12-06
CCS分类：
H83化合物半导体材料
ICS分类：
29.045半导体材料
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国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
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每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：
北京市海淀区知春路4号
乘车线路：
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