KS C IEC 62047-18-2016-半导体器件 - 微机电装置 - 第18部分:薄膜材料弯曲试验方法-国家数字标准馆

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반도체 소자 ― 초소형 전기기계소자 ― 제18부: 박막 재료의 굽힘 시험방법 半导体器件 - 微机电装置 - 第18部分:薄膜材料弯曲试验方法

发布日期： 2016-12-29

该标准规定了长度和宽度在1mm以下、厚度在0.1mm和10mm之间的薄膜材料弯曲试验方法。薄膜被用作微电子机械元件（在本标准中，简写为MEMS）和微型机的主要结构材料。用于MEMS和微型机等的主构件材料具有特殊的特点，由数微米的大小和增粘、光塑图形及/或非机械加工制造。该标准规定了可以保证符合这些特殊特征准确度的微型平坦罐杠杆形式试验的试片形状及弯曲试验。

이 표준은 길이와 너비가 1 mm 이하이고 두께가 0.1 mm과 10 mm 사이인 박막 소재의 굽힘 시험 방법을 규정한다. 박막은 미세전자기계소자(이 표준의 경우, 약어로 MEMS)과 마이크로 머신의 주 구조물 소재로 사용된다.MEMS와 마이크로 머신 등에 사용되는 주 구조물 소재는 수 마이크로 미터의 크기와 증착, 포토리소그래피 및/또는 비 기계적인 가공으로 제조된 특별한 특징을 갖고 있다.이 표준에서는 이러한 특별한 특징에 부합되는 정확도를 보장할 수 있는 마이크로 크기의 평탄한 캔틸레버 형식의 시험을 위한 시험편 모양 및 굽힘 시험을 규정한다.

分类信息

发布单位或类别：韩国-韩国标准

ICS分类： 31.080.99半导体分立器件 - 其他半导体分立器件

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