KS C IEC 62047-22-2016-半导体器件 - 微机电装置 - 第18部分:薄膜材料弯曲试验方法-国家数字标准馆

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반도체 소자 ― 초소형 전기기계소자 ― 제22부: 유연 기판의 전도성 박막용 전기기계 인장 시험방법 半导体器件 - 微机电装置 - 第18部分:薄膜材料弯曲试验方法

发布日期： 2016-12-29

该标准规定了测量在非导电柔性基板上形成的导电薄膜电-机械行为的印章试验方法。在柔性基板上形成的导电薄膜结构物被广泛应用于超小型电机元件、消费品及柔性电子产品中。在柔性基板上形成的薄膜的电-机械行为不同于由于界面相互作用而没有基板的自由支撑薄膜的电-机械行为。灵活的基板和薄膜的材料组合多样，根据试验条件和界面粘结状态，会对试验结果产生多种影响。试验中使用的导电薄膜厚度最好比柔性基板的厚度薄50倍以上，其他其他尺寸薄膜和基板类似。

이 표준은 비전도성 유연한 기판 위에 형성된 전도성 박막의 전기-기계 거동을 측정하는 인장 시험 방법을 규정한다. 유연한 기판에 형성된 전도성 박막 구조물은 초소형 전기기계소자, 소비재 및 유연한 전자 제품에 광범위하게 활용되고 있다. 유연한 기판에 형성된 박막의 전기-기계 거동은 계면 상호 작용으로 인해 기판이 없는 자유지지 박막의 전기-기계 거동과는 다르다. 유연한 기판과 박막의 재료를 다양하게 조합하면, 시험 조건과 계면 접착 상태에 따라 시험 결과에 다양하게 영향을 준다.시험에 사용되는 전도성 박막의 두께는 유연한 기판의 두께보다 50배 이상 얇은 것이 바람직하며,기타 다른 치수는 박막과 기판이 서로 유사하다.

分类信息

发布单位或类别：韩国-韩国标准

ICS分类： 31.080.99半导体分立器件 - 其他半导体分立器件

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