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现行 KS D ISO 22309-2011(2021)
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마이크로빔 분석-에너지 분산 분광법(EDS)을 이용한 정량 분석 微束分析——使用能量色散光谱法(EDS)进行定量分析
发布日期: 2011-11-28
该标准使用扫描电子显微镜(SEM)或电子探针微小分析仪(EPMA)结合的能量分散分光法(EDS),为在试验片的特定点或领域进行定量分析提供了指南。从质量分数%的观点来看,大量/少量或大量/微笑等表现被认为是定量的。试片中所有元素的准确确认是定量分析中的必要部分,在该标准中予以考虑。该标准提供了多种方法的指南,并使用标准物质或“无标准(standardless)”程序,可适用于质量分数1%的日常定量分析。而且,可以可靠地用于原子序号Z>10的元素。
이 표준은 주사전자현미경(SEM) 또는 전자 탐침 미소분석기(EPMA)와 결합한 에너지 분산 분광법(EDS)을 사용해 시험편의 특정 점이나 영역에서 행하는 정량 분석에 대한 지침을 제공한다. 질량분율 % 관점에서 대량/소량 또는 다량/미소와 같은 표현은 정량적인 것으로 간주한다. 시험편에 존재하는 모든 원소의 정확한 확인은 정량 분석에서 필수 부분이므로 이 표준에서 고려한다. 이 표준은 다양한 접근에 대한 지침을 제공하고 표준물질 또는 ‘무표준(standardless)’ 절차를 사용해 질량분율1 %까지의 일상적인 정량 분석에 적용할 수 있다. 그리고, 원자번호 Z > 10인 원소에 신뢰성 있게사용할 수 있다.
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