이 표준은 주사전자현미경(SEM) 또는 전자 탐침 미소분석기(EPMA)와 결합한 에너지 분산 분광법(EDS)을 사용해 시험편의 특정 점이나 영역에서 행하는 정량 분석에 대한 지침을 제공한다. 질량분율 % 관점에서 대량/소량 또는 다량/미소와 같은 표현은 정량적인 것으로 간주한다. 시험편에 존재하는 모든 원소의 정확한 확인은 정량 분석에서 필수 부분이므로 이 표준에서 고려한다. 이 표준은 다양한 접근에 대한 지침을 제공하고 표준물질 또는 ‘무표준(standardless)’ 절차를 사용해 질량분율1 %까지의 일상적인 정량 분석에 적용할 수 있다. 그리고, 원자번호 Z > 10인 원소에 신뢰성 있게사용할 수 있다.