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起草人: 张云晖
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现行
YB/T 4590-2017
硅材料用高纯石墨制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
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Determination of multi-element contents in high purity graphite used for silicon material-Inductively coupled plasma atomic emission spectrographic method
发布单位或类别：行业标准-黑色冶金
发布日期： 2017-04-12
CCS分类：Q51石墨材料
ICS分类：29.050导体材料
被代替
GB/T 35306-2017
硅单晶中碳、氧含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法
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Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2017-12-29
现行
YS/T 1164-2016
硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定　电感耦合等离子体发射光谱法
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Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
发布单位或类别：行业标准-有色金属
发布日期： 2016-07-11
CCS分类：Q35石英玻璃
ICS分类：81.040玻璃
现行
YS/T 1059-2015
硅外延用三氯氢硅中总碳的测定　气相色谱法
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Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
发布单位或类别：行业标准-有色金属
发布日期： 2015-04-30
现行
DB53/T 618-2014
气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量
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发布单位或类别：云南省地方标准
发布日期： 2014-08-28
作废
DB53/T 500-2013
多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
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发布单位或类别：云南省地方标准
发布日期： 2013-08-01
现行
GB/T 14849.6-2014
工业硅化学分析方法 第6部分：碳含量的测定 红外吸收法
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Methods for chemical analysis of silicon metal―Part 6：Determination of carbon―Infrared absorption method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2014-12-05
作废
DB53/T 619-2014
气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量
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发布单位或类别：云南省地方标准
发布日期： 2014-08-28
作废
DB53/T 501-2013
多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
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发布单位或类别：云南省地方标准
发布日期： 2013-08-01
作废
DB53/T 499-2013
多晶硅用三氯氢硅
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发布单位或类别：云南省地方标准
发布日期： 2013-08-01
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